Sub-half-micron Lithography for ULSIs

Collectif

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Éditeur
Cambridge University Press
Pages
344
Parution
novembre 2005
Format
Livre broché
Langue
Anglais
Dimensions
246 × 189 × 18 cm
EAN
9780521022347
  • Résumé

Describes advanced techniques under development that represent the key to future semiconductor-device fabrication.
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