Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications

Fujiwara, Hiroyuki

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Éditeur
Wiley-Blackwell (an imprint of John Wiley & Sons Ltd)
Pages
388
Parution
janvier 2007
Format
Cartonné
Langue
Anglais
Dimensions
230 × 166 × 31 cm
EAN
9780470016084
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  • Résumé

Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE).
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