Plasma Etching: An Introduction

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Éditeur
Academic Press Inc
Pages
476
Parution
septembre 1989
Format
Cartonné
Langue
Anglais
Dimensions
229 × 152 × 31 cm
EAN
9780124693708
  • Résumé

Plasma etching plays an essential role in microelectronic circuit manufacturing. Useful for researchers, process engineers, and students, this book introduces the physics and chemistry of electrical discharges and relates them to plasma etching mechanisms. It offers practical examples of process chemistry, equipment design, and production methods.
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