Confocal Scanning Optical Microscopy and Related Imaging Systems

Kino, Gordon S. Corle, Timothy R.

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Éditeur
Academic Press Inc
Pages
335
Parution
septembre 1996
Format
Cartonné
Langue
Anglais
Dimensions
229 × 152 × 20 cm
EAN
9780124087507
  • Résumé

Provides an introduction to the field of scanning optical microscopy. This book concentrates on two instruments: the Confocal Scanning Optical Microscope (CSOM), and the Optical Interference Microscope (OIM). It discusses the applications of these microscopes to phase imaging, biological imaging, and semiconductor inspection and metrology.
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