Chemistry of the Semiconductor Industry, The

Moss, S.J. Ledwith, A.

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Éditeur
Kluwer Academic Publishers
Pages
444
Parution
Format
Cartonné
Langue
Anglais
Dimensions
235 × 155 × 26 cm
EAN
9780216920057
  • Résumé

This book covers the chemistry of the major processes involved in the manufacture of integrated circuits. The authors describe all the major processes in use, together with some processes which are currently being developed and hold future promise.
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