Chemical Vapor Deposition: Principles and Applications

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Éditeur
Academic Press Inc
Pages
677
Parution
janvier 1993
Format
Cartonné
Langue
Anglais
Dimensions
229 × 152 × 39 cm
EAN
9780123496706
  • Résumé

Covers recent developments in the theoretical understanding of the chemistry and physics of Chemical Vapour Deposition (CVD). The book emphasizes principles and understanding rather than specific materials or processes. Specific examples given illustrate the principles.
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